机译:具有集成电热执行器和力传感器的微机电系统微抓爪的设计:
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机译:带有集成电热力传感器的MEMS旋转式机械手
机译:设计和仿真具有集成电热执行器和力传感器的MEMS微型夹具
机译:将共振力传感器集成到用于基于机器人的三维微装配的无源微抓钳中:设计和建模。
机译:通过热压印光刻技术设计和制造基于环的PDMS软探针用于生物系统中的传感和驱动力。
机译:具有集成式力传感器的高带宽微型抓取器和用于多刚度微组件抓握的位置估计。
机译:电离辐射对微机电系统(mEms)执行器的影响:静电,电热和残余应力